光谱干涉_白光干涉_膜厚测量_纳米膜厚测量-聆光测量

NCG红外光谱干涉测厚传感器

注释:
*也可选择距离测量型

*1.6mm距离适用于IP68防护等级的光学探头(该探头可在去离子水时使用)

NCG红外光谱干涉测厚传感器利用光的干涉原理进行厚度测量,传感器发出的测量光被测物体的上下表面反射产生干涉,由控制器分析干涉信号并解析两个表面的厚度数据。NCG传感器可测量透明或者半透明材质的样品,包括玻璃、塑料或者硅片。通过配置红外光源,传感器也可以用来测量非透明材料。

 


不同于对射测厚或者多传感器测厚存在的标定和数据同步问题,NCG传感器能够实现样品单侧高精度厚度测量,即一面加工,另一面实时测量加工厚度。NCG传感器测头具备IP68防护等级,在潮湿、水中和存在其他侵蚀物质的环境中均能稳定输出测量结果。

控制器技术规格

测量头技术参数

测量原理 干涉测量
测量模式 厚度/距离
光源 SLED
测量范围* S1 = 37-1850μm
S2 = 74-3700μm
T1 = 15-900μm
D1 = 60-3000μm
精度 ≤1μm
轴向分辨率 30nm
通道 1
接口 Ethernet (10/100Mbit) / RS232 / RS422
网络连接 可连接
电源 12-24V DC (20% / -15%)
功率 30W
防护等级 IP40
重量 2.8KG
尺寸(W/H/D) 127*129*255.5mm
测量类型* 厚度测量
工作距离** 1.6 / 10 /100mm
光斑直径 18-30μm
横向分辨率 9-15μm
线性度 <0.1%(量程范围内)
重复精度 0.1μm
与表面的角度 90°±2°
光缆长度 3m / 4m
光缆弯曲直径 30mm
屏蔽光缆 可选
防护等级 IP68 IP40
重量(不含光缆) 915g 80g

注释:
以上参数均在静态测试中得到验证。在15℃-35℃范围内,测量性能最佳。

*折射率 n=1时的范围。要获得其他材料的测量范围,请除以该材料折射率。当粗糙表面的Ra>0.1时,测量范围会受到限制。

安装尺寸规格