NCG红外光谱干涉测厚传感器
注释:
*也可选择距离测量型
*1.6mm距离适用于IP68防护等级的光学探头(该探头可在去离子水时使用)
NCG红外光谱干涉测厚传感器利用光的干涉原理进行厚度测量,传感器发出的测量光被测物体的上下表面反射产生干涉,由控制器分析干涉信号并解析两个表面的厚度数据。NCG传感器可测量透明或者半透明材质的样品,包括玻璃、塑料或者硅片。通过配置红外光源,传感器也可以用来测量非透明材料。
不同于对射测厚或者多传感器测厚存在的标定和数据同步问题,NCG传感器能够实现样品单侧高精度厚度测量,即一面加工,另一面实时测量加工厚度。NCG传感器测头具备IP68防护等级,在潮湿、水中和存在其他侵蚀物质的环境中均能稳定输出测量结果。
控制器技术规格
测量头技术参数
测量原理 | 干涉测量 | |
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测量模式 | 厚度/距离 | |
光源 | SLED | |
测量范围* | S1 = 37-1850μm S2 = 74-3700μm T1 = 15-900μm D1 = 60-3000μm |
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精度 | ≤1μm | |
轴向分辨率 | 30nm | |
通道 | 1 | |
接口 | Ethernet (10/100Mbit) / RS232 / RS422 | |
网络连接 | 可连接 | |
电源 | 12-24V DC (20% / -15%) | |
功率 | 30W | |
防护等级 | IP40 | |
重量 | 2.8KG | |
尺寸(W/H/D) | 127*129*255.5mm |
测量类型* | 厚度测量 | |
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工作距离** | 1.6 / 10 /100mm | |
光斑直径 | 18-30μm | |
横向分辨率 | 9-15μm | |
线性度 | <0.1%(量程范围内) | |
重复精度 | 0.1μm | |
与表面的角度 | 90°±2° | |
光缆长度 | 3m / 4m | |
光缆弯曲直径 | 30mm | |
屏蔽光缆 | 可选 | |
防护等级 | IP68 | IP40 |
重量(不含光缆) | 915g | 80g |
注释:
以上参数均在静态测试中得到验证。在15℃-35℃范围内,测量性能最佳。
*折射率 n=1时的范围。要获得其他材料的测量范围,请除以该材料折射率。当粗糙表面的Ra>0.1时,测量范围会受到限制。
安装尺寸规格
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