FocalScan光谱共焦轮廓传感器

MicroView

FocalScan光谱共焦轮廓传感器运用创新性的多通道共焦测量技术，单次在样品表面投射180个测量点，每个测量点对应单独的测量通道，经多次测量即可获取样品三维轮廓数据。

FocalScan光谱共焦轮廓传感器拥有超高的测量频率，速率可达2000行/秒（每秒获取高达36万个测量点），是兼具高效与高精度特性的在线检测解决方案。

测量原理

FocalScan光谱共焦轮廓传感器采用多通道共焦测量技术，LED光源发射出的光线经180条光纤传输后组成180个测量点，每个测量点的反射光线经控制器处理，从而得到样品表面三维数据。

FocalScan光谱共焦轮廓传感器由MPLS控制器、连接光纤和专用测量头组成，MPLS控制器包含MPLS 180和MPLS-DM型号。技术优势如下：

· 创新性的多通道共焦测量技术
· 180通道线扫描模式
· 扫描速率2000次/秒，单次获取36万个测量点数据
· 超高分辨率与测量精度
· 抗环境光干扰

MPLS控制器

测量头技术参数

控制器技术参数