FocalSight光谱共焦位移传感器

注释：

（1）数据在配置PRIMA控制器情况下得出，配置其他控制器得出的数据略有不同；
（2）量程数值为配置特定控制器得出，在一般情况下可适当调整量程，但可能会影响测量性能；
（3）工作距离是指测量头最顶端与量程起始点距离，该数据在配置PRIMA控制器情况下得到，通常CL0、CL2、CL3和CL4型号可能存在±3%偏差，CL1、CL5和CL6型号可能存在±6%偏差；
（4）最大可测倾角是指测量镜面反射表面时的极限角度值，测量漫反射表面时该角度可达87° ；
（5）此数据为聚焦点在量程中间处计算得出，量程开始端与结束端的光斑数值存在约10%差异；
（6）轴向分辨率是指以最佳采样速度在中心量程测量静态样品得到的RMS噪声值，不进行平均计算；
（7）光量收集率是指测量同一样品情况下各个测量头收集到的能量，数据为相对单位数值。表中的数据为典型值，配置不同控制器的数值可能略微不同。在测量高度反射样品时为了防止数据饱和，应选择低光量收集率型号测量头；在测量扩散或者低反射的样品时，为了避免较低的信噪比，应选择高光量收集率型号测量头；
（8）数据由1nm精度的编码器做比较校准，由传感器测量距离时，在整个测量范围内的最大误差。此数据为校准后立即获取，该数据的设置条件为：特定测量频率，0°倾角， 内部平均10次；
（9）测量Ra的精度取决于样品特性，R表示推荐用于测量粗糙金属样品，NR表示不推荐用于测量粗糙金属样品；
（10）在厚度测量模式下，测量精度取决于样品特性。为了获得更好的厚度测量结果，应采用厚度标定方法获取样品折射系数或导入样品折射系数文件；
（11）该数据为在如下设置下获得的典型值：最佳测量频率，数据无平均，样品折射系数1.5，在量程范围的中心获得；
（12）初始参数；
（13）配置PRIMA控制器；
 

FocalSight光谱共焦位移传感器适用于高反射性或镜面样品表面的位移和厚度测量。得益于领先的光谱共焦测量技术，该传感器提供亚微米级别的测量精度和高达2000Hz的测量频率。

该传感器配备控制器、连接光纤和测量头。根据实际测量场景，控制器提供单通道、双通道和四通道选择，测量头也可依据量程和分辨率等要求进行配置。通过优化配置控制器和测量头，可为工业应用输出更为经济、性能强大和稳定的测量能力。得益于丰富的数据输出格式和多种通信接口，该传感器能够被轻松嵌入测量系统或生产执行系统。

PRIMA控制器

PRIMA控制器提供1/2/4通道选择，可配置CL-MG，OP和ENDO三个系列测量头。技术优势如下：

· 1/2/4通道选择
· 多达20余款测量头转换
· 测量频率100Hz至2000Hz
· LED光源自动调节
· 专用厚度校准技术
· 数字量和模拟量输出
· 同步读取外部数字编码器
 

CHR控制器包括CHR150型号(配置白色LED光源）和CHR150-L型号（配置钨卤素光源），提供2/4通道同步测量选择，可配置CL-MG，OP和ENDO三个系列测量头。技术优势如下：

· 2/4通道同步测量
· 配置多种测量头
· 高达1000Hz测量频率
· 双重数字量与模拟量输出
· 超长光源寿命，亮度可调

CHR控制器

测量头技术参数

控制器技术参数