纳米级测量技术

光谱共焦

技术特性：

★ 亚纳米级分辨率
★ 面扫描效率高
★ VSI和PSI两种测量模式支持多种表面测量
★ 对材料表面角度和样品倾斜敏感

白光干涉测量技术以光的干涉现象为原理，由白光光源发射出的光线经过扩束准直后经分光棱镜分成两束光，测量光经样品表面反射回来，参考光经参考镜反射回来。测量光和参考光在汇聚时由于存在光程差而发生干涉，由此产生的干涉条纹信号被记录成像，经过算法转化后形成三维表面形貌数据。

白光干涉

技术特性：
★ 几乎任何材质表面都可测量
★ 位移/厚度双测量模式
★ 纳米级分辨
★ 重复性高
★ 最高42mm大量程
★ 大角度特性

光谱共焦测量技术是由LED光源发射出一束宽光谱的复色光，通过色散镜头发生光谱色散，其中只存在某一特定波长的单色光聚焦在被测物体表面，并反射回光学系统。经过光谱分析得到该单色光波长值，由波长-距离标定即可换算出被测物体的距离值。