PicoStation 系列多模式3D光学轮廓仪
测量功能
· 长、宽、高、角度、弧度、台阶高度、曲率半径
· 线粗糙度和面粗糙度、表面波纹度
· 平面度、翘曲度、共面度
· 表面划痕、磨损、缺陷
· 体积、面积
PicoStation系列多模式3D光学轮廓仪拥有白光干涉、无极自动变焦和膜厚测量三种测量模式，支持自由切换。白光干涉测量模式适用于光滑表面和超高精度精度测量场景，无极自动变焦模式适用于粗糙表面、大斜率、曲面和沟槽轮廓测量，膜厚测量适用于纳米级膜厚厚度测量。
PicoStation可快速、准确地获取1nm至10mm高度的样品表面数据，垂直分辨率可达0.1nm,测量精度1nm。PicoStation拥有非接触式无损测量、高分辨率、测量区域宽和效率高等特点。PicoStation提供多种配置的3D光学轮廓仪和开发版测量头，广泛应用于半导体前后道检测，PCB工艺，微纳制造，阳极氧化工艺，盖板喷砂工艺，光学加工等场景，为科研和制造提供符合ISO25178/ISO 4287国际标准的表面粗糙度、平面度、台阶高度、曲率半径和表面体积面积等参数。
技术优势
· 三种测量模式自由切换
· 分辨率0.1nm
· 1nm测量精度
· 简单操作易使用
· 测量重复性高
· 支持样品加热等定制功能
· 供应链自主可控
技术规格
| 型号 | PicoStation WLI100 | PicoStation WLI10K | PicoStaion 3XPERT | PicoStation SDK |
|---|---|---|---|---|
| 测量模式 | 白光干涉 | 白光干涉&变焦 | 白光干涉&变焦&膜厚 | 白光干涉 |
| Z向测量范围 | 100μm（400μm选配） | 10mm | 10mm | 100μm（400μm选配） |
| Z向测量速度 | ≥50μm/s | |||
| 膜厚测量范围 | - | 50nm-100μm（由物镜和样品特性决定） | - | |
| 垂直分辨率 | 0.1nm | |||
| 水平分辨率 | 0.2μm-1.87μm | |||
| 台阶高度重复性 | 0.1% 1σ | |||
| 台阶高度准确性 | 0.5% | |||
| 粗糙度RMS重复性 | 0.01nm | |||
| 支持样品反射率 | 5%-100% | |||
| 干涉物镜 | 10x(2.5x,20x,50x,100x可选) | |||
| 光学Zoom | 1.0x(0.75x、2x可选) | |||
| 光源 | 白光LED光源（提供单色LED光源选择） | |||
| 相机分辨率 | 1360*1024 | |||
| XY运动范围 | - | 100x100mm自动 | 100x100mm自动（最大400x400mm可选） | - |
| Z轴调整 | 50mm | |||
| 倾斜调整角度 | ±5°手动 | |||
| XY台面大小 | - | 300x300mm | 300x300mm | - |
| 最大承重 | - | 2kg | 2-10kg | - |
| 尺寸外观 | 600x600x730mm | 270x200x430mm | ||
| 总重量 | 80kg | 90kg | 10kg | |
| 隔振 | 被动型1.5Hz(主动型隔震台可选) | |||
PicoStation系列测量产品
· 压电垂直扫描
· 隔震台
· 自动过滤
· 模块化设计按需选配
PicoStation WLI100/10K
· 三种测量模式切换
· 适应超光滑、粗糙、
大斜率、膜厚场景
· 支持图像拼接
· 国际表面计算标准
PicoStation 3XPERT
· 丰富开发接口
· 多种测量配置
· 可靠性高
· 工业现场设计
PicoStation SDK
