高速Z向定位与引导
控制器技术规格
STIL光谱共焦传感器提供纳米级、最高10KHz的Z方向高度数据。
传感器配备控制器、光纤和测量头。根据实际测量场景，控制器提供单通道、双通道和四通道选择，测量头也可依据量程和分辨率等要求进行配置。通过优化配置控制器和测量头，可为工业应用输出更为经济、性能强大和稳定的测量能力。
· 1/2/4通道选择
· 测量频率100Hz至2000Hz（10K Hz型号供选择）
· LED光源自动调节
· 位移/厚度双模式
· 数字量和模拟量输出
· 同步读取外部数字编码器
· 支持±42°大倾角测量头和90度径向测量头
高速光谱共焦传感器能够为自动化机台提供Z方向高度信息，并通过模拟量的方式实时传输至PLC，以实现精密定位与引导。
传感器工作频率10KHz，能够提供高动态性的Z向数据。传感器采用光谱共焦原理，一方面可以提供纳米级分辨率的Z向数据，实现超精密定位；另外一方面，传感器能够适应反光表面和透明材质表面场景，输出的数据更加准确。
· 测量频率500Hz至10000Hz
· LED光源自动调节
· 位移/厚度双模式
· 数字量和模拟量输出
· 同步读取外部数字编码器
ZENITH控制器
控制器技术规格
| 型号 | ZENITH 10C1 | |||
|---|---|---|---|---|
| 测量模式 | 位移/厚度 | |||
| 通道选择 | 1 | |||
| 工作频率 | 10KHz | |||
| 光源 | 白色LED | |||
| 校准表 | 20份 | |||
| 位移测量 | 8个波峰中的1个：第一/第二/.../第七/第八/最后/最强峰值 | |||
| 厚度测量 | 8个波峰中的2个 | |||
| 多波峰测量 | 前5个波峰 | |||
| 高级功能 | 设置曝光时间/编码器触发/主从模式等 多波峰/自动曝光时间/计算的数据/编码器触发/主动和从动模式 | |||
| 通讯接口 | 以太网（GigE）/RS422 | |||
| 同步信号 | 脉冲输入（5V TTL或者24Vdc或编码器）和脉冲输出（5V TTL) | |||
| 其他输入输出 | 5路编码器输入(差分信号) | |||
| 光纤接口 | E2000/APC | |||
| 兼容性 | 兼容所有型号测头 | |||
| 工作温度 | 5℃-50℃ | |||
| 存储温度 | (-30℃)-70℃ | |||
| 相对湿度 | 5%-80% HR无冷凝 | |||
| 防护等级 | IP40 | |||
| 符合标准 | - 电磁兼容性（EN 61326-1） - +5°C低温工作（CEI EN 60068-2-1 A） - +45°C和93% RH时，静湿热工作（CEI EN 60068-2-78） - -20°C低温存放（CEI EN 60068-2-1 A） - +65°C干热存放（CEI EN 60068-2-2 B） - 5G正弦振动（CEI EN 60068-2-6 FC） - 密封性IP40（CEI EN 60529） |
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| 电源 | 24V DC 3A /25W | |||
| 最大/常规功耗 | 25W/10W | |||
| 重量 | 1kg | |||
| 尺寸 | 169*110*88mm | |||
| 选型 | 常规型号 | ||
|---|---|---|---|
| 型号（1） | CL1-MG20 | CL2-MG140 | CL3-MG70 |
| 量程（2）(mm) | 0.15 | 0.4 | 1.3 |
| 工作距离(3)(mm) | 3.3 | 10.8 | 12.2 |
| 数值孔径 | 0.71 | 0.46 | 0.41 |
| 最大倾角(4)(°) | ±42 | ±28 | ±25 |
| 轴向出光 | 标配 | ||
| 90°径向出光 | - | ||
| 最大线性误差（5）（μm） | ±0.025 | ±0.05 | ±0.13 |
| 静态噪音（6）（nm） | 7 | 20 | 60 |
| 垂直分辨率（μm） | 0.042 | 0.1 | 0.36 |
| 水平分辨率（7） | 1.1 | 1.8 | 4.5 |
| 光斑尺寸（8）（μm） | 2.7 | 4 | 11.9 |
| 光量收集率（9） | 3.3 | 7.9 | 57 |
| 最小可测厚度（μm） | 7.5 | 14 | 40 |
| 长度（mm） | 243.8 | 208.9 | 176.1 |
| 直径(mm) | 27 | 27 | 27 |
| 重量(g) | 268 | 190 | 214 |
测量头技术参数
注释：
（1）数据在配置ZENITH控制器情况下得出；
（2）量程数值为配置特定控制器得出，在一般情况下可适当调整量程，但可能会影响测量性能；
（3）工作距离是指测量头最顶端与量程起始点距离，该数据在配置ZENITH控制器情况下得到，通常CL2、CL3和CL4型号可能存在±3%偏差，CL5型号可能存在±6%偏差；
（4）最大倾角是指测量镜面反射表面时的极限角度值，测量漫反射表面时该角度可达87° ；
（5）数据由1nm精度的编码器做比较校准，由传感器测量距离时，在整个测量范围内的最大误差。此数据为校准后立即获取，该数据的设置条件为：特定测量频率，0°倾角， 内部平均10次；
（6）静态噪音（SN）是指在量程中间处测得处于完全静态的样品的RMS噪音值，表中的两个SN值包括一个未平均值和一个10次平均值。这些值为最大的可接受值。该值是在测量头校准之后测的，并在出厂报告中标注。SN值决定了传感器的垂直分辨率。
（7）水平分辨率是在测量突变光度时得到的10%-90%转换距离，该值在量程中间处测得；
（8）此数据为聚焦点在量程中间处计算得出，量程开始端与结束端的光斑数值存在约10%差异；
（9）光量收集率是指测量同一样品情况下各个测量头收集到的能量，数据为相对单位数值。在测量高度反射样品时为了防止数据饱和，应选择低光量收集率型号测量头；在测量扩散或者低反射的样品时，为了避免较低的信噪比，应选择高光量收集率型号测量头；
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