高速Z向定位与引导
控制器技术规格
STIL光谱共焦传感器提供纳米级、最高10KHz的Z方向高度数据。
传感器配备控制器、光纤和测量头。根据实际测量场景，控制器提供单通道、双通道和四通道选择，测量头也可依据量程和分辨率等要求进行配置。通过优化配置控制器和测量头，可为工业应用输出更为经济、性能强大和稳定的测量能力。
· 1/2/4通道选择
· 测量频率100Hz至2000Hz（10K Hz型号供选择）
· LED光源自动调节
· 位移/厚度双模式
· 数字量和模拟量输出
· 同步读取外部数字编码器
· 支持±42°大倾角测量头和90度径向测量头
高速光谱共焦传感器能够为自动化机台提供Z方向高度信息，并通过模拟量的方式实时传输至PLC，以实现精密定位与引导。
传感器工作频率10KHz，能够提供高动态性的Z向数据。传感器采用光谱共焦原理，一方面可以提供纳米级分辨率的Z向数据，实现超精密定位；另外一方面，传感器能够适应反光表面和透明材质表面场景，输出的数据更加准确。
· 测量频率500Hz至10000Hz
· LED光源自动调节
· 位移/厚度双模式
· 数字量和模拟量输出
· 同步读取外部数字编码器
OPTIMA+控制器
控制器技术规格
| 型号 | CCS OPTIMA+ | |
|---|---|---|
| 测量模式 | 位移/厚度 | |
| 通道选择 | 1 | |
| 多通道方式 | - | |
| 工作频率 | 500-10000Hz | |
| 光源 | 白色LED | |
| 校准表 | 20份 | |
| 位移测量 | 第一波峰/最高波峰 | |
| 厚度测量 | 2波峰 | |
| 设置选项 | 自动亮度调节/自动暗信号处理/双频率模式/保持最后一个有效值 | |
| 编码器输入 | 最多3轴-TTL信号输入-30bits计数器＞1亿步 | |
| 数字输出 | 30 bits 分辨率 | |
| 模拟输出 | 2路 [ 0-10V ] -16 bits 分辨率 | |
| 数字I/O | RS232 & RS422 &USB | |
| 同步I/O | 输入输出TTL同步 | |
| 其他输入输出 | 2个模拟量输出，编码器输入（最多3个） | |
| 光纤接口 | E2000/APC | |
| 兼容性 | 兼容所有型号测头 | |
| 工作温度 | 5℃-50℃ | |
| 存储温度 | (-30℃)-70℃ | |
| 相对湿度 | 5%-80% HR无冷凝 | |
| 电磁兼容性EMC | EN 61326-1标准 | |
| 电源 | 24V DC 3A /25W | |
| 重量 | 1.2kg | |
| 尺寸 | 162*138.1*111.5mm | |
| 选型 | 常规型号 | ||
|---|---|---|---|
| 型号（1） | CL1-MG20 | CL2-MG140 | CL3-MG70 |
| 量程（2）(mm) | 0.15 | 0.4 | 1.3 |
| 工作距离(3)(mm) | 3.3 | 10.8 | 12.2 |
| 数值孔径 | 0.71 | 0.46 | 0.41 |
| 最大倾角(4)(°) | ±42 | ±28 | ±25 |
| 轴向出光 | 标配 | ||
| 90°径向出光 | - | ||
| 最大线性误差（5）（μm） | ±0.025 | ±0.05 | ±0.13 |
| 静态噪音（6）（nm） | 7 | 20 | 60 |
| 垂直分辨率（μm） | 0.042 | 0.1 | 0.36 |
| 水平分辨率（7） | 1.1 | 1.8 | 4.5 |
| 光斑尺寸（8）（μm） | 2.7 | 4 | 11.9 |
| 光量收集率（9） | 3.3 | 7.9 | 57 |
| 最小可测厚度（μm） | 7.5 | 14 | 40 |
| 长度（mm） | 243.8 | 208.9 | 176.1 |
| 直径(mm) | 27 | 27 | 27 |
| 重量(g) | 268 | 190 | 214 |
测量头技术参数
注释：
（1）数据在配置OPTIMA+控制器情况下得出；
（2）量程数值为配置特定控制器得出，在一般情况下可适当调整量程，但可能会影响测量性能；
（3）工作距离是指测量头最顶端与量程起始点距离，该数据在配置OPTIMA+控制器情况下得到，通常CL2、CL3和CL4型号可能存在±3%偏差，CL5型号可能存在±6%偏差；
（4）最大倾角是指测量镜面反射表面时的极限角度值，测量漫反射表面时该角度可达87° ；
（5）数据由1nm精度的编码器做比较校准，由传感器测量距离时，在整个测量范围内的最大误差。此数据为校准后立即获取，该数据的设置条件为：特定测量频率，0°倾角， 内部平均10次；
（6）静态噪音（SN）是指在量程中间处测得处于完全静态的样品的RMS噪音值，表中的两个SN值包括一个未平均值和一个10次平均值。这些值为最大的可接受值。该值是在测量头校准之后测的，并在出厂报告中标注。SN值决定了传感器的垂直分辨率。
（7）水平分辨率是在测量突变光度时得到的10%-90%转换距离，该值在量程中间处测得；
（8）此数据为聚焦点在量程中间处计算得出，量程开始端与结束端的光斑数值存在约10%差异；
（9）光量收集率是指测量同一样品情况下各个测量头收集到的能量，数据为相对单位数值。在测量高度反射样品时为了防止数据饱和，应选择低光量收集率型号测量头；在测量扩散或者低反射的样品时，为了避免较低的信噪比，应选择高光量收集率型号测量头；
