STIL光谱共焦传感器
注释:
(0)本表仅列举部分型号,全部型号请参考产品手册;
(1)数据在配置ZENITH控制器情况下得出;
(2)量程数值为配置特定控制器得出,在一般情况下可适当调整量程,但可能会影响测量性能;
(3)工作距离是指测量头最顶端与量程起始点距离,该数据在配置ZENITH控制器情况下得到,通常CL2、CL3和CL4型号可能存在±3%偏差,CL5型号可能存在±6%偏差;
(4)最大倾角是指测量镜面反射表面时的极限角度值,测量漫反射表面时该角度可达87° ;
(5)数据由1nm精度的编码器做比较校准,由传感器测量距离时,在整个测量范围内的最大误差。此数据为校准后立即获取,该数据的设置条件为:特定测量频率,0°倾角, 内部平均10次;
(6)静态噪音(SN)是指在量程中间处测得处于完全静态的样品的RMS噪音值,表中的两个SN值包括一个未平均值和一个10次平均值。这些值为最大的可接受值。该值是在测量头校准之后测的,并在出厂报告中标注。SN值决定了传感器的垂直分辨率。
(7)水平分辨率是在测量突变光度时得到的10%-90%转换距离,该值在量程中间处测得;
(8)此数据为聚焦点在量程中间处计算得出,量程开始端与结束端的光斑数值存在约10%差异;
(9)光量收集率是指测量同一样品情况下各个测量头收集到的能量,数据为相对单位数值。在测量高度反射样品时为了防止数据饱和,应选择低光量收集率型号测量头;在测量扩散或者低反射的样品时,为了避免较低的信噪比,应选择高光量收集率型号测量头;
STIL光谱共焦传感器提供纳米级、最高10KHz的Z方向高度数据。
传感器配备控制器、光纤和测量头。根据实际测量场景,控制器提供单通道和双通道选择,测量头也可依据量程和分辨率等要求进行配置。通过优化配置控制器和测量头,可为工业应用输出更为经济、性能强大和稳定的测量能力。
ZENITH控制器
· 1/2通道选择
· 测量频率5Khz/10Khz
· LED光源自动调节
· 位移/厚度双模式
· 数字量和模拟量输出
· 同步读取外部数字编码器
· 支持±45°大倾角测量头和90度径向测量头
控制器技术规格
测量头技术参数
| 型号 | ZENITH 5C1 | ZENITH 5C2 | ZENITH 10C1 | ZENITH 10C2 |
|---|---|---|---|---|
| 测量模式 | 位移/厚度 | |||
| 通道选择 | 1 | 2 | 1 | 2 |
| 工作频率 | 5KHz | 5KHz | 10Khz | 10Khz |
| 光源 | 白色LED | |||
| 校准表 | 20份 | |||
| 位移测量 | 4个波峰中的1个:第一/第二/第三/第四/最后/最强峰值 | 8个波峰中的1个:第一/第二/.../第七/第八/最后/最强峰值 | ||
| 厚度测量 | 2个最强波峰 | 8个波峰中的2个 | ||
| 多波峰测量 | 无 | 前5个波峰 | ||
| 高级功能 | 自动曝光时间/计算的数据/编码器触发/主动和从动模式 | 多波峰/自动曝光时间/计算的数据/编码器触发/主动和从动模式 | ||
| 通讯接口 | 以太网(GigE)/RS422 | |||
| 同步信号 | 脉冲输入(5V TTL或者24Vdc或编码器)和脉冲输出(5V TTL) | |||
| 其他输入输出 | 5路编码器输入(差分信号) | |||
| 光纤接口 | E2000/APC | |||
| 兼容性 | 兼容所有型号测头 | |||
| 工作温度 | 5℃-50℃ | |||
| 存储温度 | (-30℃)-70℃ | |||
| 相对湿度 | 5%-80% HR无冷凝 | |||
| 防护等级 | IP40 | |||
| 符合标准 | - 电磁兼容性(EN 61326-1) - +5°C低温工作(CEI EN 60068-2-1 A) - +45°C和93% RH时,静湿热工作(CEI EN 60068-2-78) - -20°C低温存放(CEI EN 60068-2-1 A) - +65°C干热存放(CEI EN 60068-2-2 B) - 5G正弦振动(CEI EN 60068-2-6 FC) - 密封性IP40(CEI EN 60529) |
|||
| 电源 | 24V DC 3A /25W | |||
| 最大/常规功耗 | 25W/10W | 25W/15W | 25W/10W | 25W/15W |
| 重量 | 1kg | 1.2kg | 1kg | 1.2kg |
| 尺寸 | 169*110*88mm | |||
| 选型 | 常规型号 | 90度径向出光型号 | 大角度型号 | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型号(1) | CL2-MG140 | CL3-MG70 | CL4-MG35 | CL5-MG35 | ENDO1.5/D6-R | OP10000-90 | Everest K2 |
| 量程(2)(mm) | 0.4 | 1.4 | 4 | 12 | 1.5 | 10 | 2 |
| 工作距离(3)(mm) | 10.8 | 12.2 | 16.5 | 26.6 | 0.9 | 66.9 | 19.2 |
| 数值孔径 | 0.46 | 0.41 | 0.32 | 0.2 | 0.19 | 0.2 | 0.67 |
| 最大倾角(4)(°) | ±28 | ±25 | ±21 | ±14 | ±10 | ±11 | ±42 |
| 轴向出光 | 标配 | - | 标配 | ||||
| 90°径向出光 | - | 标配 | - | ||||
| 最大线性误差(5)(μm) | ±0.05 | ±0.13 | ±0.3 | ±0.75 | ±0.2 | ±0.8 | ±0.15 |
| 静态噪音(6)(nm) | 20 | 60 | 110 | 370 | 160 | 600 | 75 |
| 垂直分辨率(μm) | 0.1 | 0.36 | 0.66 | 2.22 | 0.16 | 3.6 | 0.45 |
| 水平分辨率(7) | 1.8 | 4.5 | 4.6 | 11 | 10 | 25 | 3.8 |
| 光斑尺寸(8)(μm) | 4 | 11.9 | 12.3 | 24.3 | 19.5 | 50 | 7 |
| 光量收集率(9) | 7.9 | 57 | 25 | 33 | 27 | 138 | 51 |
| 最小可测厚度(μm) | 14 | 40 | 110 | 350 | 200 | 425 | 100 |
| 长度(mm) | 208.9 | 176.1 | 145.4 | 145.4 | 87.3 | 152 | 243.4 |
| 直径(mm) | 27 | 27 | 27 | 27 | 6 | 50 | 82 |
| 重量(g) | 190 | 214 | 155 | 175 | 13 | 674 | 1250 |
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