HORIZON系列红外干涉传感器

HORIZON系列干涉测量传感器基于干涉测量原理工作，具备纳米级的测量分辨率，通过配置白光或者红外光源，通过非接触方式测量不同类型表面或者材料（如薄膜、玻璃和硅片等样品）的厚度或者位移，广泛适用于半导体、3C(计算机、通信、消费电子)等领域。

HORIZON系列传感器提供最高4000Hz采样频率，可满足晶圆在线厚度测量和实时减薄厚度管控。同时提供IP68防水等级探头，除适用标准适用环境外，还可满足在离子水下正常测量应用。 Horizon是一款单通道控制器，提供开发SDK和以太网接口，易于集成。 Horizon产品线是对P3IF产品线的进一步丰富，专用于满足半导体后段制程的应用要求。

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控制器技术规格

注释：
*折射率 n=1.0时的范围。要获得其他材料的测量范围，请除以该材料折射率。当粗糙表面的Ra＞0.1时，测量范围会受到限制。

安装尺寸规格

技术优势

• 干涉测量技术柔性高，可测量透明、半透明和不透明材料，包括半导体行业的高级镀膜

• 高精度和高稳定性，可确保薄膜、晶圆和镀膜测量可靠性并具有极高的重复性和准确性。

• 可串联使用，进行多点测量（全部测量同步进行）

• 提供SDK和协议指令，轻松集成在不同系统中

• 与编码器同步测量，动态采集数据

• 多种通信接口：以太网，USB，RS232/422，模拟量，现场总线

应用领域

• 在半导体行业，干涉测量方案同样至关重要。实时监控功能允许在线控制质量、降低材料浪费和提高生产效率。

• 在电子制造行业，干涉测量被广泛用于薄膜厚度测量，薄膜可位于电路上或显示屏上，可在大批量生产中确保薄膜的均匀性和平面性。

• 在汽车制造行业，干涉测量被广泛用于尺寸测量，例如金属反光面和透明的部件，例如玻璃和光学镀膜。在机械零件精密找正和连接的应用中同样不可或缺。

• 在医疗器械行业，精密器械生产可获益于干涉测量技术，例如光学透镜、手术器械和微型传感器。干涉测量可确保这些部件满足严格的质量标准要求。

• 在航空航天领域，干涉测量技术可测量复合材料的质量，可监控结构件在极端条件下的变形。使用干涉测量技术可提高核心部件的工作可靠性，降低失效风险。

•  在电动汽车行业，方案可测量电芯漆膜厚度和电磁线漆膜厚度。

测量头技术规格